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型 號(hào)FM-Nanoview LS- AFM
更新時(shí)間2026-01-29
所屬分類工業(yè)型原子力顯微鏡
訪問(wèn)次數(shù)5180
產(chǎn)品特色：
◆ 實(shí)現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的大尺寸工業(yè)型原子力顯微鏡
◆ 樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學(xué)玻璃等大樣品檢測(cè)
◆ 樣品臺(tái)可拓展性強(qiáng)，非常便于進(jìn)行多儀器聯(lián)用實(shí)現(xiàn)原位檢測(cè)
◆ 一鍵式自動(dòng)掃描，可任意編程多個(gè)測(cè)試點(diǎn)實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)
◆ 掃描圖像時(shí)樣品保持不動(dòng)，驅(qū)動(dòng)探針進(jìn)行XYZ三維移動(dòng)測(cè)量成像
◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附式載物臺(tái)
◆ 一體化的機(jī)械振動(dòng)減震及環(huán)境噪音屏蔽解決方案，極大降低系統(tǒng)噪音水平
◆ 馬達(dá)自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能快速進(jìn)針?lè)绞?，保護(hù)探針及樣品
◆ 掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%
技術(shù)參數(shù)：
| 工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | Z升降臺(tái) | 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制，最小步長(zhǎng)10nm |
| 選配模式 | 摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 | Z升降行程 | 20mm(可選25mm) |
| 力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | 光學(xué)定位 | 10X光學(xué)物鏡 |
| XYZ掃描方式 | 探針驅(qū)動(dòng)式XYZ掃描 | 攝像頭 | 500萬(wàn)像素?cái)?shù)字CMOS |
| XY掃描范圍 | 大于100um×100um | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
| Z掃描范圍 | 大于10um | 掃描角度 | 0~360° |
| 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm | 運(yùn)行環(huán)境 | Windows 10操作系統(tǒng) |
| XY樣品臺(tái) | 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制，移動(dòng)精度1um | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
| XY移動(dòng)行程 | 200×200mm(可選300×300mm) | 儀器結(jié)構(gòu) | 龍門架式掃描頭，大理石底座 |
| 樣品載物臺(tái) | 直徑200mm(可選300mm) | 減震方式 | 氣浮式減震+隔音屏蔽罩(可選主動(dòng)式減震臺(tái)) |
| 樣品重量 | ≤20Kg |
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